真空环境和环境温度对镀膜机器人的影响有些镀膜机器人工作需要在120℃的环境温度下，能适应此环境的电机、电线电缆、减速机、冷却水管、传动副并不多，通用配件不能适应这种环境，首先在真空环境下，通用的伺服电机、减速机、导轨丝杠等部件，不能使用普通润滑油脂，这些润滑油、润滑脂、含油轴承等都会破坏真空性能，大量释放出有机气体，使原有润滑机能完全丧失，这就必须使用能适应真空环境的专用润滑介质或工作在无润滑状态。现在伺服电机、减速机都有用于真空环境和高温环境（约180℃）的专用部件，对于导轨丝杠等传动副要考虑耐温和润滑问题，要采取措施屏蔽，避免直接受热，不能存在易受热蒸发的含油、含脂材料，避免影响真空性能；使用高温真空脂等专用润滑油脂，可以解决一部分耐温和润滑问题。电线电缆、冷却水管应当选用耐温的水管材料，对于冷却水管的耐压问题，通常考虑使用工作压力在0.8Mpa，使用温度大于90℃的软管，以聚四氟乙烯管为最佳。电磁特性对镀膜机器人的影响磁控靶有一定的磁性，这个磁场在镀膜工作中会受到外界的干扰，同时磁控靶工作时也会干扰屏蔽不是很好的电子线路。磁控靶的磁场只在靶面以上存在，外围的漏磁很小，可以不考虑；但应当避免在靶面以上布设电子线路和导磁性材料，导磁性材料也应当尽量远离磁控靶的上表面附近。设计制造适合真空环境的机器人，不能简单地搬用通用机器人的常规技术，需要仔细考虑各个部件材料的选用，采用专用的电工和机械装备。就象普通伺服电机不能同时满足真空和高温的使用环境，不能完全依靠对通用伺服电机的改进来满足使用要求。应当选用专用装备和适合真空环境的常用材料来制造真空镀膜机器人，才有了保证设备性能的基本条件。

作者：佚名　　来源：中国润滑油网